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GT650

硬體設備
真空吸盤面積	400x250mm
測試範圍	400x250mm
XYZ軸重覆精度	+- 2μm
X-Y軸	精密滾珠導螺桿
龍門固定式	1組
CCD影像對位
變焦鏡頭
最高移動速度	250mm/秒
高解析步進馬達解析	100000分割
滾珠導螺桿	精密級
線滑軌精密級
工作台離地板高	900mm
電動控制方式	PC Base Control
操作介面電腦螢幕操作
外觀尺寸	1200W ×1500L ×1600H (mm)
機台重量	1250kg
動力需求	220V 3P/4W 7kVA
真空壓力需求	-200~300torr