在生產觸控面板時,用微粒子視覺化檢測儀來檢測機台內部和環境空
間中的發塵微粒子的分佈,通過對微粒子分佈的分析,從而找出發塵
的微粒子的來源,然後對粒子進行監控及清潔,進而達到無塵環境空
間且從而提升生產良率的目的。
(1)儀器中的鐳射光源將發射的鐳射打在所需測試的環境中,而環境中
的微粒子會通過鐳射的光反射回來,並被鐳射接收器接收。
(2)反射回來的微粒子光會被鐳射接收器接收,同時傳送到CCD並攝影
呈像後轉換成視頻信號,傳送到顯示器。
(3)透過軟體轉換、呈像、分析,從而可以在顯視器上,可以顯示檢測
環境中的微粒子在環境中分佈的情況,移動檢測儀器即可隨時追蹤
粒子,進而可檢測到發塵來源的微粒子。
微粒子數過 由亮度16灰色的分類(製作假彩色)